13
當前位置：上海添時科學儀器有限公司>>合肥科晶總代理>>CVD>> GSL-1700X-HVC1700℃二通道混氣真空CVD氣相沉積
1700℃二通道混氣真空CVD系統介紹：
型號：GSL-1700X-HVC
殼體：
•內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命
•保溫材料采用高純氧化鋁纖維，環保節能，減少熱量的損失
•真空泵和氣體混合系統位于移動架上，方便移動.
•儀器上已經安裝高真空法蘭，閥門，高真空機組
爐管:
•材質：高純氧化鋁陶瓷管
•一根高純氧化鋁陶瓷管已經安裝在爐子上
•(標配尺寸)(60mm)0.D.xI.D.(50mm)x1000mm
(選配尺寸)”(80mm)0.D.xI.D.(70mm)x1000mm
功率:
6KW
工作電壓:
AC208-240V單相,50/60Hz
加熱元件:
8根1800°cgradeMoSi2heatingelement
工作溫度:
•最高工作溫度.：1650°C(<2h)
•連續工作溫度.：1600°C
升溫速率:
≤5°C/min
加熱區長度:
加熱區長度：457mm(18”)
溫控系統:
•采用PID方式自動控制，并可設置30段升降溫程序
•控溫精度：±1°C
•控溫儀表操作視頻
•熱電偶：B~型，已經安裝在爐內
真空法蘭:
•一對不銹鋼真空密封法蘭已經安裝
•法蘭上帶有一機械壓為表
•兩個精密針閥
•一個KF-25連接器和KF-25轉KF-40抽氣接口
•一個1/4~卡套接買
1700℃二通道混氣真空CVD系統外形尺寸:
550x380x520mm
高真空機組：
功率：100~110W
工作電壓：AC208-240V單相,50/60Hz
外形尺寸：600(L)x600(W)x700(H),mm
殼體:
殼體尺寸：600(L)x600(W)x700(H),mm
最大承載量：600Lbsontop
分子泵控制面板:LCD數字顯示
控制面板：
•一鍵操作：按下"start”鍵后，隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后，分子泵自動啟動)
系統控制旋轉速率：根據腔體內的真空度，系統自動控制旋片泵的旋轉速率
抽氣速率：
N2：33L/s
He：39L/s(2340L/minute)
H2：32L/s
工作范圍:1000mbarto<1E-7mbar
質子流量控制器
殼體
•采用316不銹鋼制作
•混氣箱尺寸：Φ80X120mm
•外形尺寸：600(L)x600(W)x700(H),mm
MPC控制面板(Click”to"enlarge),可根據客戶要求定制
功率：18W
工作電壓：AC208-240V,單相,50/60Hz
質保期：
一年質保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件
